半导体老化柜（Burn-in Chamber）是用于对半导体器件（如集成电路、芯片、LED等）进行老化测试（Burn-in Test）的专业设备。其核心目的是通过模拟高温、高电压、高负载等严苛条件，加速潜在缺陷的暴露，筛选出早期失效产品，确保器件的可靠性和稳定性。

主要功能与特点

1. 温度控制

• 高温老化：通常温度范围在室温至150℃以上（部分可达200℃），通过恒温或循环温度变化加速老化。

• 精准控温：采用PID算法或更先进的温控系统，确保温度均匀性（±1~2℃以内）。

2. 电气负载

• 提供动态或静态的电信号（电压/电流），模拟实际工作状态。

• 支持多通道并行测试，可同时对大量器件施加不同负载。

3. 环境模拟

• 可选湿度控制（如85%RH）、气压调节（用于功率器件老化）。

• 部分设备支持气体环境控制（如氮气保护）。

4. 自动化与监控

• 集成数据采集系统（DAQ），实时监测电流、电压、温度等参数。

• 软件自动记录失效数据，支持统计分析（如Weibull分布）。

5. 安全防护

• 过流/过压保护、烟雾报警、紧急断电功能。

• 防静电设计（ESD Protection）。