恒湿氮气一体机（氮气恒湿柜 / 制氮恒湿一体机）通用技术参数

分为两类：外接氮气源型、内置制氮一体机（自带 PSA 制氮），多用于晶圆、IC、BGA、MSD 元器件、贵金属、光学器件防氧化防潮存储。

一、环境控制参数

表格

项目指标

湿度控制范围 1%～60%RH可调，超低湿款可做到 1‑10% RH 

湿度精度 ±2～±3% RH；分辨率 0.1% RH 

温度显示范围 -9℃～99.9℃；精度 ±1℃；分辨率 0.1℃ 

氧含量（选配氧传感器） 0‑25% VOL，可设定氧阈值联锁充氮；精度≤±2% FS 

柜内压力 微正压 5‑20Pa，防止外界空气渗入 

降湿恢复时间 关门后 5‑12min 达到设定湿度（视容积） 

二、气源参数

①外接氮气源机型（市面主流）

输入氮气纯度：≥99.99%（4N），露点≤‑40℃ 

进气工作压力：0.2‑0.4MPa 

节氮控制：湿度 / 氧含量闭环，达标自动断气，超标自动充氮，带流量调节 

②内置制氮一体机（整机自带 PSA 制氮模块）

驱动气源：干燥压缩空气，0.6‑0.7MPa，露点≤‑40℃ 

产出氮气纯度：95‑99.9% 可调 

产氮流量：300‑1200L/h（按柜体容积选型） 

三、柜体与结构参数

材质：冷轧钢板防静电烤漆（ESD 款）；高端选配304 不锈钢 

防静电：ESD 机型表面电阻 10⁶‑10⁸Ω，配防静电接地端子 

门体：钢化玻璃观察窗，加压锁密封门；单门 / 双开门 / 多开门 

层板：可调节活动层板，单层均匀承重 50‑100kg 

脚轮：带刹车万向脚轮 + 支撑调平脚 

四、电气与控制

供电：AC220V 50Hz；功率待机 15‑30W，制氮一体机整机 300‑800W 

控制：7 寸触摸屏 / LED 数显；温湿度、氧含量实时显示；断电参数记忆 

报警：湿度超限、氧超限、门未关、气源压力不足声光报警 

数据（选配）：USB 导出、RS485 通讯、上位机软件，存储温湿度氧历史记录，满足 J‑STD‑033D 物料管控